衍射光学元件
yǎn shè guāng xué yuán jiàn
ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ
📖 词语释义
- 拼音字母yan she guang xue yuan jian
- 首字母ysgxyj
- 注音符号ㄧㄢ ㄕㄜ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝ ㄩㄢ ㄐㄧㄢ
- 更新2026-07-13 19:07:36
更多解释
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。