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能谱仪
néng pǔ yí
ㄋㄥˊ ㄆㄨˇ ㄧˊ

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能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。

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