离子铣
lí zi xǐ
ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ
📖 词语释义
- 拼音字母li zi xi
- 首字母lzx
- 注音符号ㄌㄧ ㄗ ㄒㄧ
- 更新2026-07-11 18:43:06
更多解释
离子铣,也称为离子束刻蚀(IBE),是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
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