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真空镀膜机
zhēn kōng dù mó jī
ㄓㄣ ㄎㄨㄥ ㄉㄨˋ ㄇㄛˊ ㄐㄧ

📖 词语释义

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真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

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