磁控溅射法
cí kòng jiàn shè fǎ
ㄘˊ ㄎㄨㄥˋ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ ㄈㄚˇ
📖 词语释义
- 拼音字母ci kong jian she fa
- 首字母ckjsf
- 注音符号ㄘ ㄎㄨㄥ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ ㄈㄚ
- 更新2026-07-13 22:08:13
更多解释
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。