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曝光区域
pù guāng qū yù
ㄆㄨˋ ㄍㄨㄤ ㄑㄩ ㄩˋ

📖 词语释义

更多解释

在光刻工艺中,光刻机单次实现曝光所能支持的最大区域范围为曝光区域。

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