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投影透镜
tóu yǐng tòu jìng
ㄊㄡˊ ㄧㄥˇ ㄊㄡˋ ㄐㄧㄥˋ

📖 词语释义

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投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜,用于对准的激光束照在晶圆上,其反射束经过曝光系统的透镜,汇聚在掩模上成像。

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