对准精度
duì zhǔn jīng dù
ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ
📖 词语释义
- 拼音字母dui zhun jing du
- 首字母dzjd
- 注音符号ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ
- 更新2026-07-10 04:16:49
更多解释
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。