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外延隔离
wài yán gé lí
ㄨㄞˋ ㄧㄢˊ ㄍㄜˊ ㄌㄧˊ

📖 词语释义

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外延隔离(epitaxial isolation)是实现PN结隔离的一种常用工艺,它之所以称为外延隔离,是因为这一隔离方法采用了外延结构。

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