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印微
yìn wēi
ㄧㄣˋ ㄨㄟ

📖 词语释义

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新的SCIL(基板完整压印微影)技术是用于亚50奈米图形制造的技术,它运用于小尺寸高解析度硬质印模和解析度低于200nm的大面积软质印模之间的优势互补。

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